在使用制冷压缩机抽空的过程中,假如压缩机自身带滑油泵时,则随着系统内真空度的提高会使滑油泵工作条件恶化,引起机器运动部件的损坏,所以当油压(指压差)小于26.7kPa时,应立即停车。为了检查是否已将系统内的水分,空气等抽尽,可在压缩机排出阀的多用孔道上接一临时管子,待系统中的大量空气排出后,将管子的另一端放入一只盛有冷冻油的容器内。若系统内还有水分,空气等,油里就会出现气泡,一直抽到在较大的一段时间里不出现气泡,说明系统内的水分,空气等已抽尽。如果在较长一段时间内仍有气泡连续不断地产生,则可先关闭压缩机的吸入阀,检查一下压缩机本身有和否泄漏,若压缩机不漏,则盛油容器里就不出现气泡,同时也说明是系统里有毛病;若压缩机有漏,气泡就会连续产生,这往往是轴封不密合所造成的,如果气泡的出现是开始大,逐渐变小,气泡出现的间隔时间也越来越长,这说明轴封从不密合到逐渐密合。若发现管端(插和入不深的情况下)有将滑油反复吸进吐出的现象,当将管端插到油内深处就看不出此现象,一般是阀片不密合所致,经重负荷使用后会好转的。
对全封闭式压缩机所组成的制冷系统,是不能用本身压缩机来抽真空的,故需要另接真空和泵来完成这项工作。由较大型的压缩机或半封闭压缩机所组成的制冷系统,一般也不宜用自身压缩机抽空。因大缸径压缩机用自身抽空有危险（因为排气口较小），而半封闭压缩机用自身抽空时，电动机冷冻条件差，用真空泵抽真空的示意图如下图所示。
