第一台采用扬声器驱动的热声制冷机是由Hofler在1985年完成的，该机获得了193 K的最低制冷温度。 1986年发明了带柱式回热器的热声发动机，1990 年，由Swift和Radebaugh合作将此热声发动机用于驱动小孔脉冲管制冷机，研制成世界上第一台无运动部件的制冷机(见图32-13)，并获得了90K的最低制冷温度。1997年，美国的NIST, Los Alamos国家实验室和Cryogen公司三家合作研制出了世界上最大的热声驱动脉管制冷机，用于天然气液化。该制冷机工作在驻波声场，频率为40 Hz，在120K时有2kW的制冷量，所用的谐振管有12m长，大约需要燃烧30%的原料天然气来液化剩余的70%的气体。
1999年，LA NL研制的行波型热声发动机实现了30%的热转换效率，达到卡诺效率的41%。 2006年，中科院理化所采用‘聚能热声谐振腔’抑制非线性声波的产生和耗散，从而大幅度提高了热声系统的共振品质因子，获得了 1.3的高压比，研制出的热声驱动单级脉管制冷机获得厂68K的低温，两级脉管制冷机获得了20K低温。
热声制冷机的关键技术是高效率热致声发动机研究，目前世界各地的学者正致力于研究实用化的行波型热声发动机，藉以推动完全无运动部件制冷机的实用化。
