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局部洁净设备的应用和围档

2021-05-13100

    洁净室除过滤器及净化空调系统,还需要各种局部净化设备及附属设备。

局部净化设备是在特定的局部空问内造成高洁净度状态的装置。由于它控制区域小,所以蛟有效、节能。艺许可的话,应尽量采,但送出的洁净气流不断被周空气污染,净区域越来越小。净送风气流浓度场变化见图44-15

为了保护设备送出的洁净气流免受周空气污染,可采用全壁方式(即把局部空AID月板壁全部围档)、部分壁方式(即部分围档)和空气幕方式(用空气幕作围档)IN档越长,净区作用域越远,但空间自度越小,对艺适应能力越差。有时为厂适应工艺需要不得不采无壁方式。图44-16示出无壁与部分壁的区别。

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