自净器 自净器是一种可移动的空气净化机组，有过滤型自净器和静电型自净器。自净器主要用于:①操作点的临时净化措施;②设里在非单向流洁净室中涡流区内，以减少灰尘滞留的可能。小型的自净器(风量在500m³/h以下)用于家用，即空气清净器。
风机过滤器单元(FFU: Fan Filter Unit) 是把高效过滤器(附预过滤器)和风机组成送风口单元，风量在2000m³/h左右。作为大型单向流洁净室的“过滤器天棚”，由工厂批量生产，并可以调速,方便设计和安装。在现代高级别工业洁净室中，使用十分广泛，图44-18为FFU的构造与性能。
高效过滤器送风口 与上述单元不同的是它不具备风机，都用于非单向流洁净室的送风管道末端，对洁净室起“把关”作用。
净化单元 这是水平送风的净化机组，和自净器不同的是送风面积大(风量大)，组合起来可构成水平单向流的送风方式。
