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洁净室的气流组织和换气次数

2021-05-141640

        (1)洁净室气流组织设计原则

    1)净化空调系统的送风气流应以最短的距离,不受污染地直接送到工作区,并且尽量覆盖工作区,使污染物在扩散之前就被携到回风口。

    2)尽量减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。

    3)尽量控制上升气流的产生,防止灰尘的二次飞扬,以减少灰尘对工件的污染。

    4)工作区的气流力求均匀,工作区的气流速度应满足生产工艺和卫生的要求。

    (2)洁净室常用气流组织方式主要有单向流和非单向流(乱流)两种方式。单向流又可分为图44-23所示的垂直型和水平型两种。

    根据国外实践,介于单向流和非单向流之间而具有两种气流特征的气流组织方式,称矢流(对角流),如图4424所示。

    从气流剖面来看,是一种放射状的气流,它可以较小风量达到较高的洁净度(K=200/h,可实现5级洁净度),以节约运行费用。此外,有些生产工艺仅要求在洁净室的局部工作区内达到高洁净度故使洁净气流先经该操作部位。非操作部位可降低级别,以节省费用,因而构成了如图44-25所示的洁净隧道方式的气流。

    此外应该注意:为了不干扰正常的气流,单向流洁净室内不宜另设净化工作台;非单向流洁净室设置净化工作台时,其位置应远离回风口;洁净室内有局部排风柜时,其位置应设在工作区气流的下风侧。


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