洁净室外部空气的渗入是污染干扰洁净室洁净度的重要原因之一。因此，必须保持一定的压差，不同等级的洁净室及洁净区，与非洁净区之间的压差，应大于或等于5Pa，洁净区与室外的压差应大于等于10Pa。相反，工艺过程产生大最粉尘、有毒物质、易燃、易爆物质的工艺区，其操作室与其他房间之间应保持相对负压。
由于净化空调系统中，过滤器阻力的变化及室内可能有排风柜的排风，因此，维持一定的正压必须有相应的措施和控制。通常用余压阀、回风口阻尼层，以及用手动或自动控制回风阀来维持室内正压。对一般空调房间，维持室内正压的渗出风量与各风量之间的关系为：L渗（正压）=L送一L回一L局排
正压渗透风量可根据房间结构密封性能来确定(每米缝隙在一定压差下通过的风量)，一般可按房间换气次数2-6次/h取值。但由于洁净室房间建筑比较严密，且正压要求严格，所以采用余压阀或差压式电动风门调节阀较为可靠。
图44-26为利用余压阀控制正压的示意图。图44-27为利用压差变送器控制回风量与新风量的控制原理。对于多房间系统，则根据各室不同压差要求，利用微机控制。
