(1)大型微电子工业洁净室的实例
1）用离心风机的集中循环方式(设显热盘管)，主循环用AHU设在地面机房内，回风与新风(来自FAAHU )混合后，进入送风静压箱。
2）分散布置中型AHU方式(设显热盘管)，三层结构，洁净室顶部为主循环用中型AHU机房，新风AHU出风送入该机房，与回风相混合。厂房占地面积少，但厂房高度高，顶部设AHU有水患。
3）风机一过滤器单元+显热盘管，顶部用FFU回风，静压室内设SHCC,新风经FAAHU送入送风静压室。
4）标准厂房改建洁净室，采用FFU，送风与回风静压层均在0. 75m。回风经玻璃直通道进入静压箱。SHCC水平安装在通道顶部。新风经FAAHU送入送风静压层，高度小，经济。
所有方案中对新风处理都十分重视，图44-28为新风处理流程实例。
(2)制药厂的洁净室系统例制药厂生产工艺中，关键性的洁净生产部分空间有限，大多在IS07级(或更低)的洁净室中，用层流罩构成封闭的高洁净度环境(见图44-29)。此外，在回风口设有空气过滤器，对粉剂进行过滤后，空气进入空气处理箱。以避免车间之间交叉污染，在送风管路上。可设定风量装置，以维持恒定的送风量。对于车间内产尘(药粉)的操作点，可设置如图44-30a所示的局部自循环吸尘机系统，以及图44-30b所示的集中式吸尘系统。通过过滤器，使洁净室空气返回车间。
