这种湿度计的加速度高、体积小、测量范围大、反应迅速。其基本原理是:对一定几何结构的电容器来说,其电容量与二极间介质的介电系数ɛ成正比关系。不同物质ɛ值互不相等,一般介质ɛ值在2~5之间,但水的ɛ=81,比一般物质大很多。
电容式湿度计就是利用这个特点制成的,当空气中含有的水分变化时,能引起电容器电容量的变化,这个变化与空气中含水量有线性关系。但电容介质损耗与介质湿度也有关,湿度愈高,则损耗愈大,损耗大对测量精度是不利的。

如损耗很大,甚至无法测出电容量的变化。因此,电容式湿度计常用于低湿区的湿度测量,而低湿区的湿度测量却是前面几种湿度发信器的薄弱环节。
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