电涡流传感器的等效阻抗Z与被测材料的电阻率 ρ、磁导率 μ、激磁频率f及线圈与被测件间的距离x有关。当 ρ、μ、f确定后Z只与x有关，通过适当的测量电路，可得到输出电压与位移的关系，如图9-28，在曲线中部呈线性关系，一般其线性范围为扁平线圈外径的1/3到1/5处，线性误差约为3%~4%。
根据上属关系，电涡流传感器可以测量位移。如汽轮机主轴的轴向窜动(图9-29a），金属材料的热膨胀系数，钢水液位等。量程范围可以从0~1mm到0~30mm，一般分辨率为满量程的0.1%。
振幅测量
为了用非接触式方法测量各种振动的振幅，如机床主轴振动形状的测量，可以使用多个涡流传感器安置在被测轴附近（9-29b），再用多通道测量仪或记录仪，便可测出在机床主轴振动时，瞬时振动分布形状。
转速测量
在一个旋转金属体上安装一只由N个齿的齿轮，旁边安装电涡流传感器（9-29c）。当旋转体转动时，齿轮的齿与传感器的距离变小，电感量变小；距离变大，电感量变大。经电路处理后将周期的输出信号，该信号频率f可以用频率计测出，然后换算呈转速n=f/N×60
式中n为被测转速（r/min）
涡流膜厚测量
利用涡流检测法，能够检测金属表面的氧化膜、漆膜或电镀膜等膜的厚度。但是，金属材料的性质不同，其膜厚检测也有很大不同。下面介绍金属表面氧化膜厚度的测量，它是各种测量方法中较为有效的一种。
氧化层膜厚测定方法如图9-30所示。假定某金属表面由氧化膜，则电感传感器与金属表面的距离为x；金属表面涡流对传感器线圈中磁场的反作用，改变了传感器的电感量，此时的电感量为（L0-△L）；当金属表面无氧化层时，传感器与其表面距离为x0，对应的电感量为L0，那么，该金属表面的氧化层厚度应为（x0-x），该厚度就可以通过电感量的变化而测得。
金属氧化层的涡流测量可由图9-31所示的测量电路实现。在膜厚测量电路中，正弦振荡器IC1、IC2产生频率1k~100kHz的正弦波，加在变压器B1初级上。次级输出的正弦信号加到桥式电路的输入端，由该桥路在非平衡状态下获取金属材料表面的涡流变化，涡流变化量由检测方法器IC3进行适当放大，再经交流放大器IC4和IC5放大数十倍后，经转换电路将涡流变化量转换为膜厚，最后由指示仪表显示。图中W1、W2、W3分别为灵敏度调整、零点调整和电平调节电位器。
除此之外，还可用电阻率或磁导率的变化对材料进行无损伤等测定。
