氦质谱检漏仪为原子能工业中常用的一种检漏设备，现已在吸收式制冷机组上广泛采用。由于这种检漏仪的灵敏度极高，因此，机组经其检漏后，可进一步提高气密性，有利于机组的性能及寿命的提高。
氦质谱检漏仪的检漏原理示意图如图6-6所示。将机组抽空至50 Pa的绝对压力(真空度越高越好)，然后充入一定量的氦气。氦气通过泄漏处扩散到氦质谱检漏仪的接收端，冲击在钨丝上，气体离子化，依靠电子枪的作用，沿箭头所示方向前进，并依靠电磁棱镜分离出重离子与轻离子，在氮离子被分离的地方，设置板级。根据被检验处的氦离子放电量，可测得氮离子数，确定泄漏量。
1、机组内无溴化锂溶液时的检漏方法:
a.喷氦检漏:
.启动真空泵，将机组抽真空至所需要的真空度;
.将氮质谱检漏仪与机组相连;
.对机组的焊缝、接头及阀门等部位进行喷氮，检漏仪会显示出泄漏量;
.对泄漏处进行修补，修补好后再进行喷氮，直至合格。
b.氦罩检漏:
.启动真空泵，将机组抽真空至所需要的真空度;
.将质谱仪与机组相连;
.用氦罩罩住机组，如图6-7所示;
.往罩里充注一定量的氦气;
.10min后，等漏率显示稳定，读出漏率数值并进行记录;
.检验合格的标准为漏率小于2.03 Pa·mL/s，否则要对机组重新检漏，找出泄漏处。
需要注意的是，检漏前，机身及焊缝处不得涂刷油漆，以免油漆涂层堵塞漏孔，而且在检漏时，水室盖板应打开。
2、机组已充注溴化锂溶液或已使用过时的检漏:
.用压缩空气将需要检漏的地方吹净，防止杂质吸进并堵塞探尖。
.按工艺要求往容器里充注一定比例的氦气和氮气。
.调整吸枪上的压力控制(约10~20Pa )，以保证吸枪上有一定的吸力。
.将氦质谱检漏仪的探尖以25mm/s的速度沿焊缝或装配移动，探尖与测试件的表面距离保持在2~5mm。如果控制器上的读数信号出现上升，应立即将探尖移开，等2s后再回到原处。根据读数的最大值来判断漏点的合格性，单点允许漏率为1. 01Pa·mL/s。对检处漏点进行标志。对漏率大的漏点应进行处理，防止漏点的延展扩大。
.对所有的焊缝和装配缝全部检查后，根据标志进行补漏。补漏必须在常压下进行，对涂有密封脂的接头处，需先清洗螺纹，然后重新均匀涂上同样牌号的密封脂。
.对补漏处重新进行检漏，直至合格。
注意:在检漏时，焊缝等不得涂刷油漆。
