真空电磁阀的检查
检查真空电磁阀的目的是为了防止抽气过程中，由于突然停电等原因，造成真空电磁阀启闭失效而使空气逆流进人机组中。关闭抽气管路上所有的手动真空隔膜阀，并启动真空泵。
1~3 min后将管路抽空至133 Pa以下，关闭真空泵。在几分钟内，检查管路中的真空度。若真空度下降速度较快，说明真空电磁阀逆流未切断，也就是说真空电磁阀的性能达不到要求，则应检查真空电磁阀。但也可能是配管或接头处发生泄漏，要进行认真检查。另一种简易的检验方法:启动真空泵，并用手指放在真空电磁阀上部的吸排气管口，对手指无吸力，则说明气管无气流;停止真空泵，气管有空气吸进，对手指有吸力，则说明真空电磁阀性能完好。
检查抽气系统有无泄漏
若焊缝有泄漏情况存在，应重新焊接;若配管接头等处有泄漏情况存在，应更换聚四氟乙烯密封垫片，再进行装配或用真空密封膏密封。
机组气密性的检查
机组在出厂前，虽然已经对机组各部分进行过严格的气密性试验，但机组出厂后由于运输、起吊及安装时产生振动等原因，也可能造成机组某些部位存在泄漏处。因此，在机组调试前，应对机组重新进行气密性检查。此项工作是机组现场调试的主要工作，是机组能否高效运行的重要保证。
气密性试验的内容包括检漏和真空检漏。检漏通常采用压力检漏、电子卤素检漏、真空检漏和氦质谱检漏仪检漏4种方法。
