5、如果拆下以后，零件完好无损，油也清洁且无杂物，则泵腔内壁可不必擦洗。若零件受到了损伤或损坏，应更换零件。若需要擦洗时，一般用纱布擦拭即可。若因为有金属碎屑、泥沙或其他脏物而必须清洗时，则可用汽油等擦洗。应避免纤维留在零件上，防止堵塞油孔。用清洗液清洗时，不要浸泡，以免渗入螺孔或销孔中。清洗后需经过干燥才可进行重新装配。
6、重新装配。装配方法和步骤如下所述。
①装配前，需要纱布擦净零件，不要用棉纱或回丝，以防止回丝堵塞油孔。零件表面涂有清洁的真空泵油。
②先装高级转子和旋片，再装高级定盖销、螺钉、键及泵联轴器等。建议以定子端面为基准竖线。装后用手旋转转子，应无滞阻。转子与定子的弧面不可紧贴，以防止咬合。
③用与②的相同的方法安装低级转子和旋片。注意各O形环密封圈应先装在槽内，且O形环密封圈应换上新品。
④将止回阀偏心块转到上方，拔起偏心块，测量进油嘴上的橡胶止回阀平面与进油孔嘴开启的最大距离应为2~3mm。松手后，止回阀应自动关闭进油孔。必要时，可调节阀杆座上的三个螺钉。
⑤将真空泵的组成部件、键和泵联轴器装在支架上，旋紧螺栓固紧。手盘动联轴器应能被轻松旋转。安装上防护盖。
⑥装上气道压盖、排气阀、挡油板和装油箱。
⑦装上进气嘴、气镇阀，并以法兰紧固。在装气镇阀时，先将O形环密封圈涂上油，再装入气镇阀，应使气镇阀的密封平面与油箱顶面尽量平行，然后紧固油箱螺栓。
需要注意的事项如下:
①记住零件的原装位置，按原位置装配，可减小配合时间;
②紧固件应无松动;
③装配后，应观察运转情况，并测量极限真空，不合格时应加以调整;
④在检修泵的同时，也应对系统管道、阀门电动机等加以检查和检修。
