湿度传感器的特性参数主要有:湿度量程、灵敏度、温度系数、响应时间、湿滞回差、感湿特征量一一相对湿度特性曲线等。一个湿度敏感器件,不仅在吸湿和脱湿两种情况下的响应时间有所不同,而且其感湿特性曲线也不重复。在吸湿和脱湿情况下,两个感湿特性曲线一般均可形成一回线。湿度敏感器件的这一特性称为湿滞特性,而将此回线称为湿滞回线.图3- 5中给出了Mn3O4 -TiO2湿度敏感器件在80℃时的湿滞回线。
表示器件湿滞特性的特性参数是湿滞回差。湿滞回差表示器件在吸湿和脱湿两种情况下,其感湿特征量的同一数值所指示的环境相对湿度的最大差值。显然,器件的湿滞回差越小越好。
上面介绍了表示湿度敏感器件性能的几种特性参数。除此之外,对于二个湿度敏感器件,还应标明其使用条件、可靠性指标,以及其他参数(如加热清洗参数)等。
综上所述 ,可以得知一个理想化的湿度敏感器件所应具备的性能和参数：①使用寿命长 ,长期稳定性好;②灵敏度高 ,感湿特性曲线的线性度好; ③使用范围宽,湿度温度系数小;④响应时间短;⑤湿滞回差小;⑥能在有害气体的恶劣环境中使用;⑦器件的一致性和互换性好,易于批量生产,成本低;⑧器件感湿特征量应在易测范围以内。
