半导体气敏传感器及其分类

  半导体气敏传感器按照半导体与气体的相互作用在其表面还是在内部，可分为表面控制型和体控制型两类；按照半导体变化的物理性质，又可分为电阻型和非电阻型两种。半导体气敏元件的详细分类参见表4-5。电阻半导体气敏元件是利用半导体接触气体时，按其阻值的改变程度来检测气体的成分或浓度；而非电阻型半导体气敏元件根据其对气体的吸附和反应使某些有关特性变化，从而对气体进行直接或间接检测。

  自从20世纪60年代研制成功SnO₂半导体气敏元件后，SnO₂气敏元件进入了试用阶段，敏感材料是目前应用最多的一种器皿材料，它已经广泛应用与工矿企业、民用住宅、宾馆饭店等内部对可燃和有害气体的检测。