电阻型半导体气敏传感器加热方式

加热器的作用是将附着在敏感元件表面上的尘埃、油雾等烧掉,加速气体的吸附,提高其灵敏度和响应速度。加热器的温度一般控制在200~400℃左右。

加热方式一般有直热式和旁热式两种,因而形成了直热式和旁热式气敏元件。直热式将加热丝直接埋入SnO₂、ZnO粉末中烧结而成,因此,直热式常用于烧结型气敏结构,其结构和符号如图4 - 21(a) (b)所示。旁热式是将加热丝和敏感元件同置于一个陶瓷管内,管外配以梳状金电极做测量极,在金电极外再涂上SnO₂等材料,其结构和符号如图4- 21(c) (d) 所示。

直热式结构气敏传感器的优点是制造工艺简单、成本低、功耗小,可以在高电压回路中使用。它的缺点是热容量小,易受环境气流的影响,测量回路和加热回路 间没有隔离而相互影响,国产QN型和日本费加罗TGS^# 109型气敏传感器均属于此类结构。

旁热式结构的气敏传感器克服了直热式结构的缺点,使测量极和加热极分离, 而且加热丝不与气敏材料接触，避免了测量回路和加热回路的影响；器件热容量大，降低了环境温度对器件加热温度的影响。所以，这类结构器件的稳定性、可靠性比直热式结构的号，国产QM-N5型和日本费加罗TGS#812、813型气敏传感器采用的都是这种结构。