湿度传感器的特性参数——灵敏度

湿度传感器是基于其功能材料能发生与湿度有关的物理效应或化学反应的基础上制造的。它有将湿度物理量转换成电信号的功能，这些功能可以通过与湿度有关的电阻或电容的变化，长度或体积的胀缩以及结型器件或MOS器件的某些电参数的变化，例如PN结击穿电压、电流放大系数、反向漏电流、MOS器件的沟道电阻等的变化而得以实现。湿度传感器的特性参数主要有:湿度量程、灵敏度、温度系数、响应时间、湿滞回差、感湿特征量一一相对湿度特性曲线等。

湿度敏感器件的灵敏度就其物理含义而言，应当反映相对于环境温度变化的器件感湿特征量的变化程度，因此，它应当是器件的感湿特性曲线的斜率。在器件感湿特性曲线是直线的情况下，用直线的斜率来表示湿度敏感器件的灵敏度是恰当而可行的。

然而，多数湿度敏感器件的感湿特性曲线是非线性的，在不同的相对湿度范围内曲线具有不同的斜率，这就造成用湿度敏感器件感湿特性曲线的斜率来表示器件灵敏度的困难。

目前，虽然关于湿度传感器灵敏度的表示方法尚未得到统一，但较为普遍采用的方法是用器件在不同环境湿度下的感湿特征量之比来表示器件灵敏度。例如，日本生产的MgCrO₄-TiO₂湿度敏感器件的灵敏度，用一组器件电阻比R_1%/R_20%、R_1%/R_40%、R_1%/R_60%、R_1%/R_80%、R_1%/R_100%表示，其中R_1%、R_20%、R_40%、R_60%、R_80%、R_100%分别为相对湿1%、20%、40%、60%、80%及100%时器件的电阻值。