压电式力敏传感器结构图示

图5-3示出了压电式力敏传感器的基本结构。

压电元件由数对石英短片组成。拉紧的薄壁圆筒对晶片提供预载力,用弹性膜片感受外部压力并传给薄壁圆筒。薄壁圆筒的刚度很小,用弹性膜片感受外部压力并传给薄壁圆筒再传给晶片,唱片上所受的力基本上等于外力。

石英晶片的极化面镀覆金属后形成电极。根据极性将晶片按串联或并联方式由引线连至外部。并联时，将极性相同的电极面连接在一起,输出的总电荷是各片电荷之和,输出的电压则是单片时的电压。串联时,用导电胶将各片不同极性面顺序粘贴,端面用金属垫片引出导线,输出的总电荷即为单片的电荷,输出电压是各短片的电压之和。因此,并联时电容大,时间常数大,适用于电荷输出,低频特性好,一般适用于静态压力测量;而串联时的电容小,时间常数小,适用于电压输出,高频特性好,一般适用于有瞬态压力的测量。