反射式
图11-17所示为反射式模拟光电传感器用于检测工件表面粗糙度或表面缺陷的原理图。从光源发出的光经过被测工件的表面反射,由光电元件接收。当被测工件表面有缺陷或粗糙度精度较低时,反射到光电元件上的光通量变小,转换成的光电流就小检测时被测工件在工作台上可左右,前后移动。
透射式
图11-18所示为透射式光电传感器用于检测工件孔径或狭儿宽度的原理图。此法适用于检测小直径通孔。从光源发出的光透过被测工件的孔后,由光电元件接收。被测孔径尺寸变化时,照到光电元件上的光通量随之变化,转换成的光电流大小由被测孔径大小决定。此方法也可用于外径的检测。
线纹瞄准用光电传感器
图11-19所示为线纹瞄准用光电传感器原理图。图11-19(a)为测量玻璃刻线尺的透
射照明光学系统。被检线纹尺由光源照明,经分光镜形成两个刻线像4和9,箭头A、B、C分别表示刻线和两个刻线像4和9的移动方向。狭缝5和7的宽度相等,均被调节到等于刻线像的宽度。狭缝5和7的光学位置有一相位差,如图11-19(b)所示。当被测线纹尺按箭头A方向运动时,刻线像顺次通过狭缝5和7。照射到光电倍增管6和8中的光通量Ф5和Ф7以及转换成的电信号的U5和U7都呈倒三角形,并有一相位差,如图11-19(b)中虚线所示。两个电压信号U5和U7经反相放大后送到一个差动放大器,其输出将反映两信号之差(U7一U5),如图11-19(b)中实线所示。差动信号的“零"电位点就表示刻线被瞄准的位置，经电路处理发出一个刻线已瞄准的电信号。
