1、输出阻抗高，负载能力差
电容式传感器的容量受其电极的几何尺寸等限制，一般为几十到几百皮法，其至只有几个皮法，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用癌烽范围内的交流电源时，输出阻抗高达108~106Ω。因此传感器负载能力差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏项措施，从而给设计和使用带来不便。容抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高(几十兆欧以上)，理则绝缘部分将作为劳路电阻而影响仪器的性能(如灵敏度降低)，为此还要特别注意周围的环境如湿度、清洁度等。若采用高频供电，可降低传感器输出蛆抗，但高频放大、传输远比低频的复杂，且寄生电容影响大，不易保证工作十分稳定。
2、寄生电容影响大
电容式传感器的初始电容量小，而连接传感炭和电子线路的引线电缆电容(1~2m导线可达800pF)、电子线路的杂散电容以及传感器内极板与其周围导体构成的电容等所谓“寄生电容”却较大，不仅降低了传感器的灵敏度，而且这些电容(如电缆电容)常常是随机变化的，将使仪器工作很不稳定，影响测量精度。因此对电缆的选择、安装、接法都有要求。
应该指出，随着材料、工艺、电子技术，特别是集成技术的高速发展，使电容式传感器的优点得到发扬而缺点不断地得到克服。电容式传感器正逐渐成为一种高灵敏度、高精度，在动态、低压及一些特殊测量方面大有发展前途的传感器。
