压阻式传感器有两种类型:一类是利用半导体材料的体电阻支撑粘贴式的应变片,做成半导体应变式传感器;另一种是在半导体材料的基片上用集成电路工艺支撑扩散电阻,作为测量传感元件,亦称扩散型压阻式传感器,或固态压阻式传感器,固态压阻式传感器主要用于测量压力和加速度等物理量。

压阻式传感器的优点是:①灵敏度非常高,有时传感器的输出不需要放大可直接用于测量;②分辨度高,例如测量压力时可测出10~20Pa的微压;③测量元件的有效面积可做的很小,故频率响应高;④可测量低频加速度与直线加速度,压阻式传感器的最大缺点是温度误差较大,故需要温度补偿或在恒温条件下使用。
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