压阻式传感器的类型与优点

  压阻式传感器有两种类型：一类是利用半导体材料的体电阻支撑粘贴式的应变片，做成半导体应变式传感器；另一种是在半导体材料的基片上用集成电路工艺支撑扩散电阻，作为测量传感元件，亦称扩散型压阻式传感器，或固态压阻式传感器，固态压阻式传感器主要用于测量压力和加速度等物理量。

  压阻式传感器的优点是：①灵敏度非常高，有时传感器的输出不需要放大可直接用于测量；②分辨度高，例如测量压力时可测出10~20Pa的微压；③测量元件的有效面积可做的很小，故频率响应高；④可测量低频加速度与直线加速度，压阻式传感器的最大缺点是温度误差较大，故需要温度补偿或在恒温条件下使用。