低温等离子体即非平衡态等离子体，其特征是能缺密度较低，重粒子温度接近室温而电子温度却很高，电子与离子有很高的反应活性。目前已有多个研究小组公布了他们在该领域的研究成果：CFCs的分解程度取决于等离子体传递的能量，与CFCs的类型无关。低温等离子体技术中报道较多的是介质阻挡放电(DBD)等离子体技术,DBD是产生非平衡态等离子休的一种有效方式，可以工作于气压为10⁴~10⁶ Pa的空间，是一种高气压的非平衡放电。利用DBD产生的非平衡态等离子体，在常压下实现了CFC-12的降解，并达到了比较满意的降解率，并且在能量的利用上更加合理。
将DBD等离子体技术应用于氟利昂的处置，正在成为环境科学工作者的一个研究热点。DBD技术的主要缺点在于其主要产物是COF2及COCIF, CF4等，这给尾气的后处理带来很大困难。中国台湾王亚芬等人研究了CFC-12在冷等离子体系统中加氢条件下的分解,认为CFCs的进气浓度和功率是影响CFCs分解的主要因素，他们在100W" CFC-12的进气浓度为7.6%，H2:CFC-12为7.0,压力2000Pa( 15Torr)的条件下，实现了94%以上的CFC-12转化率，主产物是CH4和C2H2。
见诸报道的还有微波等离子体技术，同样也是利用微波将反应物滥度加热到8000~10000℃，达到等离子状态后将氟利昂降解。此外，Wsamu Tsuji等人还用等离子法让CFCs与其他单体共聚生产聚合物:1041，还有用等离子处理催化剂表面来分解CFCs的报道。总之，已有多种等离子体技术被用于处理CFCs，但等离子体实验的因素复杂多变，难度大，设备的制造成本较高，使这种方法的应用仍然缺乏一个坚实的工程基础。
