真空泵(图8-33)是利用机械、物理、化学或综合方式对被抽容器的某一封闭空间产生、改善和维持真空的装置。真空泵品种繁多，发展迅猛，所涉及的范围很宽；其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升；极限压力(极限真空)可以达到从初真空到10¯¹²Pa以上的超高真空。
根据工作原理可将真空泵分为往复式真空泵和旋片式真空泵。往复式真空泵是利用泵腔内做往复式运动的活塞将气体吸入、压缩并排出，故也称为活塞式真空泵，运动原理类似于往复活塞式压缩机。旋片式真空泵是利用泵腔内转子做旋转运动，将气体吸入、压缩并排出。
