这种泵是用油来保证排气阀的密封的。泵工作时，利用泵的吸、排气腔的容积改变以完成吸气、压缩和排气过程。按真空泵的结构又可分为定片式、旋片式、滑阀式、余摆线式和直联高速旋片式真空泵等。
图4-3所示为单级旋片真空泵的结构图。它主要由定子、转子和旋片组成。转子偏心地安装在定子内，转子槽中装有两旋片，两旋片靠中间的弹簧力和旋转时的离心力紧贴于泵腔内壁，将泵腔与转子之间的月牙形空间分成三（或二）部分。从进气管到旋片分隔的空间称吸气空间：两旋片之间称为膨胀压缩空间；与排气口
相通的部分称排气空间。当转子带动旋片按箭头方向旋转时，吸气空间容积不断扩大，被抽容器中的气体进人吸气空间。当另一旋片转至刚好将进气口封死时，吸气量达到最大，若旋片继续旋转，则被封闭在两旋片之间的气体受到压缩，压力不断提高，当压力超过一定值时，气体便推开排气阀将气体排出。两旋片如此交替工作，转子每转一周，完成两次吸气和两次排气。排气阀浸入油中是为了防止大气返流进入泵内。
单级旋片泵的性能较差，残余气体和蒸气的总压力为5Pa左右，因此现在国内生产的旋片泵都是双级的。图44示出双级旋片真空泵的结构原理，它由装在同一泵体内的两台泵串联而成。其极限真空度一般可达10-2Pa。这种泵既可单独用于真空度较低的系统抽空，也可作为罗茨泵、油增压泵等的前级泵
（预抽泵）。在冷冻干燥机中，一般作预抽泵使用，也可单独抽真空用。
