真空系统的材料-常用材料的放气率

真空系统的材料

真空系统的材料除了要求强度、刚度足够，加工容易，化学稳定性和热稳定性好，价廉易得等以外，还要求气密性好、放气率低、穆透率低和在工作温度下饱和蒸气压低。

放气率是指气体从置于真空系统中的材料上自然而然地释放出来的速率。常用材料的放气率如表4-1所示。

渗透率是指真空系统外的气体通过材料进入真空系统内的速率。

材料的蒸气压是指将某种一定温度的材料置于绝对真空中，该材料的分子蒸发达到饱和状态所具有的压力。各种金属、化合物的蒸气压可从真空设计手册等有关资料中查取。材料的放气率大、渗透率高和蒸气压高都会在抽空时增加抽气负荷，影响系统的真空性能。