真空系统的弹性材料真空系统连接法兰的密封垫圈,可活动部分的密封圈需用弹性材料,有时也用一些弹性管子进行可弯曲的弹性连接。这些材料的主要特点是真空气密性好,弹性好,能耐一定的温度,饱和蒸气压低,放气率和渗透率小,常用的有氯丁橡胶、异丁橡胶、丁腈橡胶、硅橡胶、聚四氟乙烯、尼龙等。
天然橡胶有较高的弹性、机械强度和耐磨性,良好的耐水性、耐酸碱性,但其放气量较大。一般用于1X10-JPa的真空系统,使用温度为一30一80℃.
丁腈橡胶的渗透率小,耐油,适于做高真空系统的垫圈,工作温度为一2080℃.
氟橡胶具有良好的真空性能,其放气率及渗透率都很小,能耐较高温度,除气温度可达250℃,工作温度可达200℃,用于10×
10-8~10×10-1Pa的超高真空系统。聚四氯乙烯(塑料王)有良
好的耐热和绝缘性能,工作温度可达300℃,可用于超高真空系统。
一些弹性材料的性能如表4-2所示。

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