弹性元件真空计

弹性元件真空计是一种利用弹性元件（金属弹簧或薄膜）在气体压力差作用下产生的弹性变形的原理来直接或间接地测定压力的真空计。它可分为直接测量型（如弹簧管式、薄膜式、膜盒式真空计等）和间接测量型（如电容真空计、热偶真空计）等。电容真空计精度高，可作标准真空计用。

图8-13所示的为薄膜真空计，其测压范围为1×102~1×105Pa，用于低真空测量。在冻干中一般用于系统抽真空和作为增压泵启动信号的检测控制元件，或在蒸气灭菌中用来控制蒸气压力。