电容式薄膜真空计的结构及工作原理

电容式薄膜真空计

结构及工作原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变面引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计，它由电容薄膜规管和测量线路两部分组成。根据测量电容的方法不同，测量线路可分为有偏位法和零位法两种，其中，零位法具有较高的测量精度。

零位法电容式薄膜真空计的结构如图8-14所示。它由电容式薄膜规管、测量电桥电路、直流补偿电源、低频振荡器、低频放大器、相敏检波器和指示仪表等组成。

电容式薄膜规管中间装着一张金属弹性膜片，其一侧有一固定电极，当膜片两侧的压差为琴时，固定电极与膜片形成一个静态

电容C。，它与电容C，串联后作为测量电桥的一臂，电容C2、C；和C4、Cs的串联电容作为其他三条桥臂。

金属弹性膜片将薄膜规管隔离成两个室，其内的气体压力分别为被测压力p，和参考压力p，（pb<10-3Pa）。在两侧主体压力相同时调节测量电桥电路使其平衡，即指示仪表归零；当被测压力p：>b时，压力差1一p使膜片发生应变，引起电容C。改变，破坏了测量电桥电路的平衡，指示仪表亦有相应的指示，调节直流补偿电源电压U对电容C，充电，使其静电力与压差相等，电桥电路重新达到平衡，指示仪表又重新指零。根据补偿电压大小，就能得出被测压1；并且当p1>p。时，测量结果就是绝对压力，即

（8-5）

式中，p1为被测压力（Pa）；U为补偿电压；K为规管常数。