电容式薄膜真空计的性能及特点

电容式薄膜真空计性能稳定，其测量范围一般为10~l0-Pa，适合于有氧气、水蒸气及油蒸气气氛的压力测量。

电容式薄膜真空计的主要特点如下。

①测量结果是气体和蒸气的全压力，并与气体种类无关。

②结构牢固，使用方便。

③可作为粗低真空的副标准和传递标准。

④可制成高温恒温式真空计，这对于防止因真空测头不能彻底灭菌所造成的冻干箱的污染非常重要。