DL-8型电离真空规结构

DL-8型电离真空规

DL-8型电离真空规采用的电极结构如图8-18所示，采用两块不锈钢平行电极C作为离子收集极，其间距d，=5mm，在中心平面处登有四根相互间距为d2=1.32mm的丝状电极，F为外涂氧化钇的铱阴极，A为阳极，两侧为辅助电极S,A和S极均为0.5mm钼杆。利用电极C和S上的适当负电位可改变电极F一A间的电位分布，实现对电子有聚焦作用和增大靠近阳极A附近区域的电场强度。前者迫使电子沿轴线作最短的直线运动，后者使电子只有在靠近阳极的极小区域由强电场迅速获得较大的能量，从而控制了二次电子流，并在压力较高、电子自由程短的情况下也能有足够的电离几率。

高压力热阴极电离真空计性能稳定，其测量范围一般为102一l0-4Pa，特别适合于中真空范围的真空度测量。