安全保护和故障报警装置--​短时间停电保护

短时间停电保护

①停电时冷阱与真空泵之间的隔离阀自动关闭。

②升华中若停电，箱、阱阀开启，以利用冷阱中的冷量捕捉升华的水蒸气。

③停电时，机器的程序状态、运行数据、设定参数均自动存储。

④复电时，程序按原中断处重新运行，同时所有电机按设定顺序依次启动，以免多台电机同时启动对电网造成电流冲击。