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主要优点:
1.测量结果与被测气体种类或成分无关,还可测量蒸气;
2.金属陶瓷质规管可加热烘烤除气;
3.可用于有腐蚀性气体场合;
4.在真空计量中可作为低真空副标准量具使用。
主要缺点是易受温度变化干扰。用于精密测量时,需采用恒温补偿措施。
在真空保鲜技术和设备中常采用电容式薄膜真空计进行真空度测量。