高真空设备工作时，都是从大气状态下开始抽气的。为此，在设备达到预定的高真空之前，必须先测量低真空。由于测量低真空和高真空一般不能用同一种真空计来完成，因而需采用由低真空计和高真空计组的复合真空计。应用最多的是电离真空计与热偶真空计组合而成的电离与热偶式复合真空计，简称为复合真空计。其测量范围可扩展至13~10¯⁵Pa，其中13~10¯¹Pa由热偶真空计测量；10¯¹~10¯⁵Pa由电离真空计测量。这类复合真空计的结构较简单，且使用方便。
缺点是由于热偶真空计和电离真空计的测量原理不同，出现了10¯¹Pa处不能很好衔接的问题。
