真空测量是指对真空度的测量,而真空的高低通常是用气体的压力来表示的。在真空中遇到的气体压力都很低,要直接测量它的压力效应是极不容易的。因此,测量真空度的办法往往是先在气体中引起一定的物理现象,然后测量这个过程中与气体压强有关的物理量,再设法确定出真实压力来。例如压缩式真空计就
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是先将气体压缩,使其压力增高,测出此增高后的压力,再设法计算出原来的压力。
任何具体的物理现象与压力的关系,都是在某一压力范围内才最显著,超出这个范围,关系就变得微弱了。因此任何方法都有一定的测量范围。表8-1列出了一些真空计的测量范围。
在冻干机中最常用的真空计有弹性元件真空计、热传导真空计和电容式真空计。